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祝罄唇档偷桨宋⒚住⑽逦⒚祝恢钡搅轿⒚缀脱俏⒚准侗稹＜爸�90年代，集成电路产业飞速发展，国际上更是推陈出新。0。8、0。5微米这样的芯片业也能够被制造出来了……”
周硕的目光环绕会议室一圈，问向所有人道“你们在读书的时候，在使用电子设备的时候。想过没有？这集成电路芯片，究竟是怎么制造的？”
他的话让会场里的众人一愣，回想自己的生活中，或者是大学时代接触集成电路知识的时候。确实很少想过这小小的芯片是如何制造出来的。
看到众人脸上茫然的神色，周硕笑了。
“没有，绝大多数人不会去思考这个问题。”他斩钉截铁的说道“但是我想过！一开始我以为是老师傅们一笔一笔刻画出来的……”
他这话让在场的所有人的笑出了声。能够进这个屋子的人，现在当然不会不知道芯片是如何制造的。所以听到有人有这种想法自然很可笑。
周硕露出缅怀的神色，毫不在意的接着说道“你们别笑。我这是经过论证的。都说咱们国家的十级工能够加工1丝的精度。这1丝，可不就是10微米吗？可这也是人类能够分辨的极限了，但却是集成电路发展的开端而已。后来我又以为这是机器控制刻刀画出来的，但可惜世界上最先进的机床设备，仍然不能加工亚微米级别的材料……”
随着周硕的讲话，下面的人渐渐的安静了下来。仔细回想，如果没有芯片制造的专业知识，普通人有这种误会其实毫不奇怪。
芯片的制造过程不仅是人类制造业之皇冠，更是人类想象力的极致。
“后来我第一次听人说，芯片是用光刻出来的。”周硕嘴角上扬，摇头苦笑道“我的第一个念头是不信，光怎么能刻东西呢？那我每天晒晒太阳，不是早就被晒个满脸花了。不得不承认，现代科技发展到极致，已经是比魔法还神奇的艺术了。”
“一块掩膜版经过光刻机的转换，最后能成百上千倍的缩小之后，分毫不差的刻在一张硅片上。”周硕重新看回鹤田的脸上，由衷的说道“必须承认，尼康确实是一家伟大的企业！你们做的并不是普通的生意，而是把光当做一件艺术品来卖！”
鹤田听着身边的同声传译，翻译了周硕的话之后，也忍不住自得的点了点头。没错，尼康作为一个光学企业，这样的赞誉当之无愧。
然而，周硕的语调在经过这段高亢之后，猛的低沉了下去。
“但是这种光的艺术，我们的国家却是一片荒漠。”他沉痛的说道“我们还在为2微米工艺伤脑筋的时候，国际上已经普遍使用亚微米技术了。当被国家民族寄以厚望的908华晶工程陷入困顿的时候，intel就已经在使用0。5微米工艺来制造他们的cpu。”
“我们终于解决了0。8微米工艺的难题进入亚微米时代，尼康和阿斯麦的战火却已经燃烧到了0。25微米级别。如果按照正常的进度，等我们再过两年，国际上进入纳米时代的时候，国产光刻机基本上就可以放弃努力了——因为我们的高端光学，那个时候恐怕只能生存在实验室里了。”
“没有产业化为高端的光学工艺提供出路，单凭财政拨款根本不可能追赶的上国际先进水平！”周硕痛心疾首的说道“事实早就已经证明，计划经济的研究方式，是无法适应市场竞争的！就算我们能够做光刻机的系统集成，也一样要在镜头上受制于人。”
“所以说——”周硕闭上眼睛，深深的吸了一口气，长叹一声道“我们中国人这时候，已经站在了光刻机产业的悬崖边上。再退后一步，背后就是万丈深渊。”
他慢慢的张开眼睛，看着鹤田无比真诚的说道“所以，鹤田先生你能明白，我的觉悟吗？为了让我们中国人也能拥有这种光的艺术，我不惜一切代价！”
啪啪啪啪——
鹤田忍不住由衷的拍起手来，周硕的这一番话，让他有种看到六十年代昭和男儿一般的风采。
日本崛起的基础，正是在那个年代的那样一批人手里被奠定，他们拥有无限的热情和为了国家奉献的责任感、紧迫感。从这一点上来说，周硕和他们无疑是同类人。妄图以自己的一双肩膀，挑起一付原本不属于自己的重担。
梦想也好、责任也罢，世人常常嘲笑他们傻，却忘记正是这样的人才能成为撑起一个国家的脊梁。
“周桑说的太好了，让我忍不住想到了我国战后通产省的前辈佐桥滋。正是他这样的人，怀着富强日本的梦想，付出无数的辛苦努力和热血，这才有了日本的今天。”鹤田看起来，对那段历史很是心驰神往“今天的中国能有周桑这样的人，我相信中国在未来一样会成为一个美好的国家！”
来自鹤田的肯定，不仅是周硕，更让泛翰集团所有与会的人都与有荣焉。人生最大的成就，莫过于来自敌人的肯定。鹤田这一句话，可以说是大大的振奋了泛翰集团这一侧的士气。
“但是，时代已经不同了！”鹤田用更猛烈的气势，猛然回击道“这个世界是如此的冷酷，并不会因为人们的努力而一定就会有收获。哪怕是佐桥滋的思想，现在在日本都已经没有市场了。市场之所以是市场，就是因为它的冷酷无情和利益至上！所以真的非常抱歉，周桑你的理想我非常敬佩，但生意就只能是生意！”
“生意就是生意啊！”周硕坐在椅子上，放松的长叹道“说的真话，用这句话拿来给资本做脚注，实在是再贴切不过。”
“周桑也是知道市场不会以人的意志为转移的，所以请不要再做无谓的挣扎了！”鹤田诚恳的说道“请按照市场规律，面对现实吧！”
“哈哈哈哈！”周硕突然张嘴大笑了起来，站起身说道“说得好，就让我们面对现实吧！”
鹤田见到周硕的样子，心下振奋的以为他已经想通了，却不想他的话音打了个圈又兜了回去。
“既然如此，我们就用市场规律说话，请尼康公司面对现实吧——”
周硕双目炯炯有神，拿出一份文件猛的拍在了鹤田的面前。（未完待续。。）
第三百九十六章 投影曝光
如果没有周硕的干扰，从0。35微米工艺向0。25微米工艺过渡的光刻机，真实历史上实际使用的是步进重复投影曝光技术。
在0。35微米工艺及之前，光刻机光学掩膜版的制作要求是非常高的。基本上和生产的芯片，是一对一全比例设计。
掩膜版投射的镜头需要与硅片进行完全的接触，接触中甚至要抽成真空状态。然后光源系统的激光打到掩膜版上，投影部分的光刻胶就会被蒸发掉。把这样的晶圆放到蚀刻机里面，化学药品就会将没有覆盖光刻胶的部分腐蚀掉，然后再把晶圆转移到离子注入机上进行离子注入……
把镜头和晶圆直接接触，或者两者之间只有小缝隙的接近，这种光刻机被称之为接触、接近式曝光技术。因为使用这种技术的光刻机镜头要和晶圆进行完全的接触，对掩膜版、镜头、晶圆和光刻胶都有非常高的要求。
这种设计自有其好的一面，对镜头精度要求低，系统复杂度低，以及成像质量高之类的优点。但也有其致命的缺陷，0。35微米工艺基本上就是其经济性的极限了。
0。25微米工艺光刻机想要延续接触式曝光，整个系统需要的机械精密程度，掩膜版的成本、掩膜版和硅片的接触紧密度，系统的集成难度都开始了几何级数的增加。
于是在原本的历史上，尼康也好、阿斯麦也好都选择了另一条路，那就是非接触式曝光。也就是投影式曝光技术。
这种技术说白了，就是好像平常用放大镜聚集太阳光一样。用棱镜系统将光源从远处投射到硅片上。这样经过几次聚焦、折射、再聚焦，最终投影到硅片上的图形比掩膜版甚至可以小上4倍。
对于沉浸式光刻技术而言。投影式曝光技术最大的好处就是——避免了使用防水光刻胶的高成本。
其实说起来，周硕现在真的很想哈哈大笑一下，以发泄自己内心的畅快！
日本人费尽心思弄到了防水光刻胶的技术，原本他们这个技术至少是可以吃一代光刻机没问题的。历史上，早期沉浸式光刻机系统也是使用防水光刻胶的接近式光刻机，直到投影式光刻机成为主流防水光刻胶才退出了历史舞台。
他现在拿出来的这份文件，自然就是投影式光刻机的技术专利，可以说这项技术一出防水光刻胶就是一个废物了！
鹤田刚开始还不以为然，在他的心里早就已经认为泛翰集团是砧板上的鱼肉。哪里还有什么翻盘的机会？
这个年代里，日本人不仅是骄傲的，而且也非常有骄傲的资本。整个九十年代，世界十大晶圆厂，日本人占了半数还多！
在鹤田和所有日本人看来，中国人能拿出沉浸式光刻技术纯粹就是瞎猫碰死耗子，反正搞举国体制不正是共产国际的强项嘛！
除了沉浸式光刻技术这种独辟蹊径的取巧之道，日本人绝不相信泛翰集团还能在其他方向产生突破，他们手里的底牌也就是仅此而已。
然而事实证明。中国人比他们想象的要强大的多。这对鹤田来说，不啻是一个巨大的嘲讽。
以技术先进为傲的尼康，竟然会屡屡失败在一个小小的中国企业面前！这tm的不科学啊！
鹤田的脸色随着他看完整个授权专利证书之后，就黑的好像一块锅底的黑炭了。任谁在看到自家花费巨资研发出来的技术。转眼就被人给淘汰掉了，心里肯定都会恨不得把对方给咬死。
可惜，鹤田注定是不敢咬死人的。
步进投影技术不仅能摆脱对防水光刻胶的依赖。更重要的是只要稍作优化，立刻就又能把光刻机制程技术向前推进一个时代……
你们